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人民日?qǐng)?bào)記者  張丹華

核心閱讀

光子產(chǎn)業(yè)作為基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，長(zhǎng)期面臨研發(fā)投入高、風(fēng)險(xiǎn)大、周期長(zhǎng)等行業(yè)難點(diǎn)。針對(duì)難點(diǎn)，陜西積極建設(shè)光子共性技術(shù)平臺(tái)，助力初創(chuàng)企業(yè)降低研發(fā)成本，促進(jìn)科技成果更快轉(zhuǎn)化落地，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群蓬勃發(fā)展。

一束光，可以做什么？

道路上，激光雷達(dá)可以成為車輛的“眼睛”，精確感知道路環(huán)境；廠房中，飛秒激光可以成為最細(xì)的“刀”，雕刻出高精細(xì)的曲線；實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，一束光通過(guò)高精度顯微鏡成為“鑷子”，操控微米級(jí)粒子……

應(yīng)用廣泛的光子產(chǎn)業(yè)，是基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。在一項(xiàng)項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)突破的背后，往往是高昂的研發(fā)投入、較大的研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)、較長(zhǎng)的研發(fā)周期以及快速的技術(shù)更新。

不同光子企業(yè)在研發(fā)、測(cè)試和生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)用到一些成本高昂的共性技術(shù)，單家企業(yè)難以承擔(dān)，共性技術(shù)平臺(tái)應(yīng)運(yùn)而生。近日，記者走進(jìn)陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“光電子先導(dǎo)院”），探訪這個(gè)共性技術(shù)平臺(tái)如何推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。

面向市場(chǎng)需求  搭建技術(shù)平臺(tái)

陜西西安唐晶量子科技有限公司的無(wú)塵車間里，穿梭其間的技術(shù)人員身著無(wú)塵衣、口罩、鞋套，手戴乳膠手套，小心翼翼地用吸筆將襯底放入檢測(cè)儀器內(nèi)。

從過(guò)去“單打獨(dú)斗”，到現(xiàn)在擁有員工60余人、資產(chǎn)超4億元，唐晶量子成功實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器外延片量產(chǎn)，成為西安光子產(chǎn)業(yè)鏈的重點(diǎn)企業(yè)。回顧創(chuàng)業(yè)歷程，唐晶量子董事長(zhǎng)龔平說(shuō)：“企業(yè)實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展，離不開(kāi)光電子先導(dǎo)院的支持。”

2015年，中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所與陜西省科技廳、西安高新區(qū)等聯(lián)合，成立了光電子先導(dǎo)院，發(fā)揮共性技術(shù)平臺(tái)功能，通過(guò)“稀缺平臺(tái)資源＋專業(yè)技術(shù)服務(wù)”方式，搭建科技成果轉(zhuǎn)化的“橋梁”。

2017年開(kāi)始，“人臉識(shí)別”功能在手機(jī)上快速普及，市場(chǎng)對(duì)體積小、成本低的垂直腔面發(fā)射激光器的需求不斷擴(kuò)大。掌握關(guān)鍵技術(shù)的龔平萌發(fā)了創(chuàng)業(yè)的想法，但怎么去做、到哪里做，他猶豫不決。

得知龔平的想法后，光電子先導(dǎo)院將收購(gòu)的閑置半導(dǎo)體廠房?jī)?yōu)惠提供給他使用。廠房條件和設(shè)備都非常適合創(chuàng)業(yè)，2017年11月，唐晶量子成立。

更強(qiáng)有力的支持，還來(lái)自硬科技的保障——光電子先導(dǎo)院為唐晶量子提供了可靠的光刻、刻蝕、激光劃片等全線工藝共性技術(shù)服務(wù)。“遇到技術(shù)難題，光電子先導(dǎo)院可以快速調(diào)動(dòng)行業(yè)內(nèi)專家聯(lián)合攻關(guān)，解了我們的后顧之憂。”龔平說(shuō)。

提供技術(shù)設(shè)備  助力成果轉(zhuǎn)化

“在光子領(lǐng)域，初創(chuàng)企業(yè)擁有關(guān)鍵核心技術(shù)的同時(shí)，更需要高端設(shè)備和工藝平臺(tái)。”光電子先導(dǎo)院總經(jīng)理?xiàng)钴娂t介紹。

“一臺(tái)進(jìn)口高端光刻機(jī)的價(jià)格往往高達(dá)上億美元，對(duì)我們這種初創(chuàng)企業(yè)來(lái)說(shuō)，購(gòu)買這樣的設(shè)備無(wú)異于天方夜譚。”龔平說(shuō)。

企業(yè)初創(chuàng)期對(duì)芯片只有幾十片甚至幾片的研發(fā)生產(chǎn)需求，成熟的量產(chǎn)代工廠難以為研發(fā)類產(chǎn)品安排生產(chǎn)訂單。“即使安排，所需周期也大概要3到6個(gè)月。對(duì)于技術(shù)更新極快的光子產(chǎn)業(yè)而言，這個(gè)周期可能意味著一代技術(shù)已經(jīng)被淘汰。”楊軍紅說(shuō)。

2021年，陜西省發(fā)布“追光計(jì)劃”，對(duì)光子產(chǎn)業(yè)進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)劃和整體部署，光電子先導(dǎo)院進(jìn)一步推進(jìn)光子共性技術(shù)平臺(tái)建設(shè)。

“該平臺(tái)主要瞄準(zhǔn)光子集成、先進(jìn)激光與光子制造、光子傳感三大領(lǐng)域共性難題，開(kāi)展產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)研究與關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)，推動(dòng)科技成果轉(zhuǎn)化。”陜西省科技廳廳長(zhǎng)姜建春說(shuō)。

目前，光電子先導(dǎo)院已擁有超百人的完整工藝技術(shù)團(tuán)隊(duì)、100余臺(tái)（套）先進(jìn)化合物芯片關(guān)鍵設(shè)備、8000平方米潔凈廠房，集研發(fā)、小試、中試、工藝及測(cè)試和小批量生產(chǎn)等各類服務(wù)于一體。企業(yè)通過(guò)與光電子先導(dǎo)院簽訂合同，付費(fèi)使用平臺(tái)相關(guān)設(shè)備和服務(wù)。

2017年，陳辰創(chuàng)辦的西安賽富樂(lè)斯半導(dǎo)體科技有限公司入駐光電子先導(dǎo)院。利用光電子先導(dǎo)院提供的電子束蒸鍍機(jī)等一系列先進(jìn)設(shè)備，企業(yè)于當(dāng)年11月正式上線4英寸半極性氮化鎵材料，并從2018年3月開(kāi)始實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品良率達(dá)到95％以上，成功打開(kāi)了市場(chǎng)。

不只是賽富樂(lè)斯公司從光子共性技術(shù)平臺(tái)受益。中科立德籌建紅外智能光電研發(fā)產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目，打造智能化特種精密紅外光學(xué)鏡頭批量生產(chǎn)線；源杰半導(dǎo)體投資建設(shè)集光電通信半導(dǎo)體芯片和器件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的生產(chǎn)基地……多家光子技術(shù)企業(yè)投資建設(shè)的關(guān)鍵項(xiàng)目，在光子共性技術(shù)平臺(tái)的支持下相繼落地。

據(jù)了解，目前陜西光子產(chǎn)業(yè)企業(yè)已超過(guò)300家，總產(chǎn)值超過(guò)300億元。2023年底，陜西省提出“追光計(jì)劃——躍遷行動(dòng)”，計(jì)劃到2030年，形成具備國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力、覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈條的千億元級(jí)光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群。

完善平臺(tái)功能  促進(jìn)長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展

秦嶺腳下的西安光子傳感園里，光電子先導(dǎo)院的“先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)”項(xiàng)目正緊鑼密鼓地推進(jìn)，目前硬件建設(shè)已完成。

“啟動(dòng)這個(gè)項(xiàng)目前，我們一直發(fā)愁資金問(wèn)題。”楊軍紅說(shuō)，“由于硅光市場(chǎng)尚未爆發(fā)，項(xiàng)目可能存在回報(bào)周期長(zhǎng)等問(wèn)題。銀行信貸周期普遍較短，和我們長(zhǎng)期資金的需求很難匹配。”

2023年的一次交流中，國(guó)家開(kāi)發(fā)銀行陜西省分行了解到項(xiàng)目對(duì)長(zhǎng)期資金的需求后，深入調(diào)研，結(jié)合政策快速拿出一套金融服務(wù)方案，為推進(jìn)該項(xiàng)目建設(shè)提供了金融支持。

“今年7月初，雙方簽訂了總金額5億元的28年期貸款協(xié)議，并在第一時(shí)間發(fā)放首筆貸款2000萬(wàn)元，支持新平臺(tái)加速落地。”國(guó)開(kāi)行陜西省分行科技金融處負(fù)責(zé)人劉奮軍說(shuō)。

與此同時(shí)，光電子先導(dǎo)院還于近期順利完成新一輪股權(quán)融資，支持光子共性技術(shù)平臺(tái)全面升級(jí)。“不久后，這里將建成硅光中試平臺(tái)，為各類硅光芯片創(chuàng)新主體提供從研發(fā)到產(chǎn)業(yè)化的完整技術(shù)服務(wù)，補(bǔ)強(qiáng)國(guó)內(nèi)硅光中試代工的薄弱環(huán)節(jié)。”楊軍紅說(shuō)。

陜西省已批復(fù)建設(shè)包括光子、先進(jìn)稀有金屬材料、智能仿真系統(tǒng)、新能源與智能網(wǎng)聯(lián)汽車、高性能纖維材料等在內(nèi)的30余個(gè)共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)，部分平臺(tái)還嵌入了中試平臺(tái)功能。

“共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)助力企業(yè)攻關(guān)關(guān)鍵技術(shù)，加快科技成果轉(zhuǎn)化落地，有力提升了產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)陜西優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)向價(jià)值鏈中高端邁進(jìn)。”姜建春說(shuō)。